Analys av vanlig förångningsteknik- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Analys av vanlig förångningsteknik

1. Avdunstningsplätering av motstånd: Källan mot motståndsförångning används för att avdunsta lågsmältpunktmaterial, såsom guld, silver, zinksulfid, magnesiumfluorid, kromtrioxid, etc. Motståndskällor är vanligtvis gjorda av volfram, molybden och tantal.

2. Elektronstråle avdunstningsplätering : När filmmaterialet är förångat och indunstat av elektronstråle uppvärmning, kondenseras det på ytan av underlaget för att bilda en film, vilket är en viktig uppvärmningsmetod i vakuumindunstningstekniken.

Det finns många typer av sådana enheter. Med den breda tillämpningen av tunn filmteknologi är inte bara kraven för de typer av membran olika, utan också kraven för membranens kvalitet är strängare.

Motståndsförångning kan inte längre tillgodose behoven för indunstning av vissa metaller och icke-metaller. Elektronstrålens värmekälla kan erhålla en mycket större energitäthet än motståndsvärmekällan, och värdet kan nå 104-109W/CM2, så att filmen kan värmas till 3000-6000C.

Detta ger en bättre värmekälla för att avdunsta eldfasta metaller och icke-metalliska material såsom volfram, molybden, germanium, SiO2, AI2O3, etc. Dessutom, eftersom materialet som ska förångas är placerad i en vattenkyld kudde, indunstningen av behållarens material och reaktionen mellan behållaren och den filmmaterial som är värt, vilket är viktigt för förbättringen av renheten.

Dessutom kan värmen direkt läggas till ytan på filmmaterialet, så den termiska effektiviteten är hög och värmeledningen och värmestrålningsförlusterna är små.

3. Båguppvärmningsindunstningsplätering: En uppvärmningsmetod som liknar elektronstrålningsmetoden är ARC -utloppsvärmemetoden. Den har också egenskaperna för att undvika förorening av motståndsvärmematerial eller degelmaterial, och har egenskaperna för hög värmtemperatur, särskilt lämplig för indunstning av eldfasta metaller, grafit, etc. med hög smältpunkt och viss konduktivitet.

Samtidigt är utrustningen som används i denna metod enklare än för elektronstråleuppvärmningsanordningen, så det är en relativt billig förångningsanordning.

4. Laserstrålförångningsplätering: Metoden för att använda pulserad laser med hög effektdensitet för att avdunsta material för att bilda tunna filmer kallas vanligtvis laserindunstning

5. Högfrekventa induktionsuppvärmning av indunstning av förångning: Använd principen om induktionsuppvärmning för att värma metallen till indunstningstemperaturen.

Kerskapen som innehåller filmmaterialet placeras i mitten av spiralspolen, och en högfrekvensström passeras genom spolen, så att metallfilmmaterialet kan generera ström för att värma sig upp tills det avdunstar.

Funktioner för induktionsvärme förångningskälla:

1. Hög förångningsgrad

2. Temperaturen på förångningskällan är enhetlig och stabil, och det är inte lätt att producera aluminiumdroppsplash -fenomen

3. Avdunstningskällan är laddad på en gång, ingen trådmatningsmekanism krävs, temperaturkontrollen är relativt enkel och operationen är enkel

4. Kraven för membranmaterialets renhet är något bredare.

Termisk avdunstningsvakuumbeläggning Maskin