Vanliga metoder för vakuumläckage

Läckedetektering med heliummasspektrometri

Denna teknik är en oundgänglig teknik inom området vakuumläckedetektering. Det används ofta vid läckedetektering på grund av dess höga läckedetekteringseffektivitet, enkel drift, känslig instrumentrespons, hög precision och inte Kina PVD -beläggningssystemleverantörer lätt störs av andra gaser. Helium -masspektrometerläckedetektor är ett slags gastäthetsdetekteringsinstrument baserat på masspektrometri -principen, som använder helium som läckindikatorgas. Den består av en jonkälla, en analysator, en samlare, en kall katodjoniseringsmätare, en masspektrometri -kammare, ett avgassystem och en elektrisk del. Elektroner som släpps ut från filamentet i masspektrometri -kammaren oscillerar fram och tillbaka i rummet och kolliderar med inomhusgas och helium som kommer in i rummet genom det läckande hålet för att jonisera till positiva joner. Dessa heliumjoner kommer in i magnetfältet under vänster och höger hjärnor i det accelererade elektriska fältet och avleder på grund av verkan av Lorentz -kraften, bildar en cirkulär bågbana och ändrar det accelererade elektriska fältet. Tryck gör det möjligt att detekteras joner av olika massa genom att nå den mottagande polen genom magnetfält och ta emot slots. Heliuminjektionsmetod och heliumsabsorptionsmetod är de två vanligt använda metoderna för läckedetektering av heliummasspektrometer.