Vanlig vakuumterminologi5

1. Diffusion av gas ： Gas rör sig i ett annat medium på grund av koncentrationsgradient. Medium kan vara en annan gas (diffusion i detta fall kallas interdiffusion) eller ett kondenserbart ämne.
2.D diffusionskoefficient; Diffusivitet ： Förhållandet mellan den absoluta massflödeshastigheten per enhetsarea och normal koncentrationsgradient per enhetsarea erhålls. Kina PVD -pläteringsmaskinleverantörer
3. Viskigt flöde ： Den genomsnittliga fria vägen för gasmolekyl är mycket mindre än kanalens minsta tvärsnittsstorlek. Därför beror flödet på viskositeten hos gasen, som kan vara laminärt eller stillastående.
4.η Viskös faktor ： Förhållandet mellan tangentiell kraft och hastighetsgradient per enhetsarea i riktning mot luftflödeshastighetsgradient.
5.Sorption ： fångst av gas eller ånga (adsorbat) med fast eller vätska (adsorbent) .

Dela: