Avdunstningsvakuumbeläggningsmaskin och fysisk princip- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Avdunstningsvakuumbeläggningsmaskin och fysisk princip

Avdunstning vakuumbeläggningsmaskin är främst sammansatt av en vakuumbeläggningskammare och ett vakuumpumpsystem. Det finns indunstningskällor (dvs förångningsvärmare), underlag och underlagshållare, elektrodstänger, kraftförsörjning, korska, substratvärmare, avgassystem etc. i vakuumkammaren.

Beläggningsmaterialet placeras i förångningskällan i vakuumkammaren. Under höga vakuumförhållanden upphettas förångningskällan för att avdunsta den. När den genomsnittliga fria vägen för ångmolekylerna är större än den linjära storleken på vakuumkammaren, kommer atomerna och molekylerna i filmångan att avdunsta från förångningskällan. Efter att källytan flyr, kollideras den sällan och hindras av andra molekyler eller atomer, och kan direkt nå ytan på substratet som ska pläteras. På grund av den låga temperaturen på underlaget kondenserar ångpartiklarna i filmmaterialet på den för att bilda en film.

För att förbättra vidhäftningen mellan de indunstade molekylerna och underlaget kan substratet aktiveras genom lämplig uppvärmning eller jonrengöring. Den fysiska processen för vakuumindunstningsbeläggning från materialindunstning, transport till deponering och filmbildning är som följer:

1. Använd olika metoder för att konvertera andra former av energi till värmeenergi, värma filmmaterialet för att avdunsta eller sublimt och bli gasformiga partiklar (atomer, molekyler eller atomgrupper) med en viss energi (0,1 ~ 0,3ev):

2. Gaspartiklarna lämnar membranmaterialets yta och transporteras till ytan på underlaget i en rak linje med en betydande rörelseshastighet utan kollision;

3. De gasformiga partiklarna som når ytan på substratkondensen och nukleat och växer till en solid film;

4. Atomerna som utgör filmen omorganiseras och arrangeras eller kemiskt bundna.