Hur upprätthåller jag vakuumbeläggningsmaskinen?

1. Arbetsrummet ska rengöras varje gång vakuumelektropläteringsmaskinen slutför mer än 200 beläggningsförfaranden.
Metod: Skrubba upprepade gånger insidan av vakuumkammaren Vakuumbeläggningsmaskin Med en mättad lösning av natriumhydroxid (NaOH), (Observera att den mänskliga huden inte direkt bör röra lösningen av kaustisk soda för att undvika brännskador) är syftet att göra det belagda aluminium (Al) att reagera med NaOH. Efter reaktionen faller filmen av och släpper väte. Rengör sedan vakuumkammaren med rent vatten och rengör smuts i den fina sugventilen med en trasa doppad i bensin.
2. När den grova pumpen (Slide Valve Pump, Rotary Vane Pump) fungerar kontinuerligt under en månad (hälften under regnperioden) bör ny olja bytas ut.
Metod: Skruva loss oljebulten, töm den gamla oljan och starta sedan pumpen i några sekunder för att helt tömma den gamla oljan i pumpen. Skruva tillbaka oljan
Bult, tillsätt ny olja till den nominella mängden (observeras av oljesiktglaset). Om du använder den kontinuerligt i mer än ett halvt år bör du öppna oljeklocket när du byter olja och torkar smuts i tanken med en trasa.
3. Diffusionspumpen har använts kontinuerligt i mer än 6 månader, pumphastigheten är uppenbarligen långsam, eller så är operationen felaktig, fyll i atmosfären, ta bort anslutningsvattenröret, ta bort den elektriska spisplattan, skruva loss det första steget och använd bensin för att ansluta pumpkaviteten och pumpa rena tanken igen, tvätta den med tvättpulver och vatten, och sedan rain med vatten. När vattnet förångas, installera pumpbehållaren, tillsätt ny diffusionspumpolja och installera den tillbaka till kroppen, anslut vattenröret och installera den elektriska spisen. Disk, du kan starta om. Innan du startar om, var uppmärksam på läckedetekteringsarbete.
Metod: Starta underhållspumpen och stäng dörren. Efter några minuter, observera om vakuumgraden för diffusionspumpen når 6x10 Pa. Annars krävs läckedetektering. Kontrollera om fogen är utrustad med en tätningsgummiring eller tätningsringen krossas. Värm upp efter att ha tagit bort den dolda faran för luftläckage, annars kommer diffusionspumpoljan att bränna ringen och kan inte komma in i arbetstillståndet.