Vilka är de viktigaste komponenterna i ett vakuumbeläggningssystem?- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Vilka är de viktigaste komponenterna i ett vakuumbeläggningssystem?

1. Vakuumkammare

beläggningsutrustning Har huvudsakligen två former: kontinuerlig beläggningsproduktionslinje och enkammarbeläggningsmaskin, tillverkning av rostfritt stål, argonbågsvetsning, ytkemisk poleringsbehandling och olika specifikationer av flänsgränssnitt svetsas på vakuumkammarkomponenterna.

2, Vakuumförvärvsdel

I vakuumteknik är vakuumförvärvdelen en viktig del. Förvärv av vakuum kan inte uppnås med en enda vakuumutrustning och metod. Flera pumpar måste användas i kombination, såsom mekaniska pumpar, rötterpumpar, molekylära pumpsystem etc.

3, vakuummätningsdel

Vakuummätningsdelen av vakuumsystemet är att mäta trycket i vakuumkammaren. Liksom en vakuumpump kan ingen vakuummätare mäta hela vakuumområdet, så människor har gjort många typer av vakuummätare enligt olika principer och krav. Såsom termoelementsmätare, joniseringsmätare, pirani -mätare, etc.

4. Strömförsörjningsdel

Målströmförsörjningen inkluderar huvudsakligen likströmsförsörjning, mellanfrekvensströmförsörjning, pulsströmförsörjning och radiofrekvensströmförsörjning (RF). Vanliga tillverkare av strömförsörjning inkluderar AE, ADL, Hottinger, etc.

5. Process Gas Input System

Processgaser, såsom argon (AR), Krypton (KR), kväve (N2), acetylen (C2H2), metan (CH4), väte (H2), syre (O2), etc. levereras vanligtvis av gascylindrar. Gastryckreducerande ventil, gasstoppventil, rörledning, gasflödesmätare, magnetventil, piezoelektrisk ventil och sedan in i vakuumkammaren. Fördelen med detta gasinmatningssystem är att rörledningen är enkel och tydlig och det är lätt att reparera eller ersätta gascylindern. Beläggningsmaskinerna påverkar inte varandra. Det finns också fall där flera beläggningsmaskiner delar en uppsättning gascylindrar. Denna situation kan ses i några storskaliga beläggningsverkstäder. Dess fördel är att det minskar beläggningen av gascylindrar, enhetlig planering och enhetlig layout. Nackdelen är att på grund av ökningen av antalet leder ökar risken för luftläckage. Dessutom kommer beläggningsmaskinerna att störa varandra, och rörledningen för en beläggningsmaskin kan läcka luft, vilket kan påverka produktkvaliteten för andra beläggningsmaskiner. Vid byte av gascylindrar är det dessutom nödvändigt att se till att alla maskiner är i ett icke-gasstat.

6. Mekanisk överföring

Beläggningen kräver att tjockleken på periferin måste vara enhetlig. Därför måste det finnas tre rotationer i beläggningsprocessen för att uppfylla kraven. Det vill säga, medan det stora arbetsstyckets tabell krävs för att rotera (i), roterar det lilla arbetsstyckets bärare också (ii), och själva arbetsstycket kan rotera samtidigt (iii). I mekanisk design finns det i allmänhet en stor körutrustning i mitten av botten av det stora arbetsstyckets skivspelare, och några små stjärnhjul mesh med sig. Om produkten ska roteras roteras arbetsstycket i allmänhet av en skiftgaffel.

7, uppvärmning och temperaturmätningsdel

Beläggningsutrustning har i allmänhet värmare i olika positioner, och termoelement används för att mäta och kontrollera temperaturen. Eftersom termoelementets klämposition skiljer sig från arbetsstyckets position kan temperaturavläsningen emellertid inte vara den verkliga temperaturen på arbetsstycket. För att mäta den verkliga temperaturen på arbetsstycket finns det många metoder, du kan installera hög temperaturtestpapper eller termoelementmätare på arbetsstycket.

8. Jonindunstning och sputteringskälla

Eindunstningskällan för multibågsplätering är i allmänhet i form av en rund kaka, allmänt känd som ett rund kakmål, och det finns också rektangulära multi-Arc-mål. En magnet installeras i målbasen. Genom att flytta magneten fram och tillbaka ändras magnetfältets intensitet och den rörliga hastigheten och banan för bågen kan justeras. För att minska temperaturen på målet och målbasen måste målbasen kontinuerligt levereras med kylvatten. För att säkerställa hög elektrisk och värmeledningsförmåga mellan målet och målbasen kan en tennpackning också läggas till mellan målet och målbasen. Magnetron sputteringsbeläggning använder i allmänhet rektangulära eller cylindriska sputteringskatoder.

9, vattenkylningssystem

I allmänhet består av kallt vattentorn, isvattenmaskin, vattenpump, etc.

10, Industrial Control System

Dela: