E -post: 
Tel:+86-13486478562
Språk Produktkonsultation
Din e -postadress publiceras inte. Obligatoriska fält är markerade *
Vakuumbeläggningsmaskin Huvudsakligen hänvisar till en typ av beläggning som måste utföras under ett högre vakuum, inklusive många typer, inklusive vakuumresistensuppvärmning, elektronpistoluppvärmning av förångning, magnetronsputning, MBE -molekylär strålepitaxy, PLD -lasersputning avlagring, jon där är många slags balksputning. Huvudidén är uppdelad i två typer av indunstning och sputtering.
Elektrisk kontrollskåp
1. Slå på vattenpumpen och luftkällan.
2. Slå på huvudströmförsörjningen.
3. Slå på strömförsörjningen på underhållspumpen och vakuummätaren, vakuummätarpositionen V1, vänta på att värdet ska vara mindre än 10 och ange sedan nästa steg. Det tar cirka 5 minuter.
4. Slå på den mekaniska pumpen, pre-pumpen, slå på kraften på turbo-molekylpumpen och starta den. Vakuummätningsomkopplaren ändras till V2 -positionen. Det tar cirka 20 minuter att pumpa ner till mindre än 2.
5. Efter att ha observerat att avläsningen av den turbomolekylära pumpen når 250, stäng av pre-pumpen, slå på stödpumpen och den höga vakuumventilen för att fortsätta dammsuga. När vakuumet når en viss nivå, slå på den höga vakuummätaren till höger för att observera vakuumet. Först efter att vakuumet når 2 × 10-3 kan elektronpistolen strömförsörjning slås på.
1. Slå på vattenpumpen och luftkällan.
2. Slå på huvudströmförsörjningen.
3. Slå på strömförsörjningen på underhållspumpen och vakuummätaren, vakuummätarpositionen V1, vänta på att värdet ska vara mindre än 10 och ange sedan nästa steg. Det tar cirka 5 minuter.
4. Slå på den mekaniska pumpen, pre-pumpen, slå på kraften på turbo-molekylpumpen och starta den. Vakuummätningsomkopplaren ändras till V2 -positionen. Det tar cirka 20 minuter att pumpa ner till mindre än 2.
5. Efter att ha observerat att avläsningen av den turbomolekylära pumpen når 250, stäng av pre-pumpen, slå på stödpumpen och den höga vakuumventilen för att fortsätta dammsuga. När vakuumet når en viss nivå, slå på den höga vakuummätaren till höger för att observera vakuumet. Först efter att vakuumet når 2 × 10-3 kan elektronpistolen strömförsörjning slås på.
DEF-6B-operation
1. Total strömförsörjning.
2. Slå på elektronpistolkontrollen ⅰ och elektronpistolkontroll ⅱ Strömförsörjning samtidigt: Tryck på elektronpistolkontrollen ⅰ Strömförsörjning, fördröjningsomkopplare, fördröjning, strömförsörjning och skyddsljus är på. Efter tre minuter är fördröjnings- och skyddslamporna släckta. Om bakdörren inte är stängd eller vattenflödesreläet har fel, kommer skyddslampan alltid att vara på.
3. När högspänningen är påslagen kommer högspänningen att nå mer än 10kV, strålströmmen kan justeras till cirka 200 mA, gardinnätet är 20V/100MA, filamentströmmen är 1,2A och avböjningsströmmen svänger mellan 1 och 1,7.
Avstängningssekvens
1. Stäng av den höga vakuummätaren och molekylpumpen.
2. När molekylpumpens skärm når 50, stäng av den höga ventilen, det främre steget och den mekaniska pumpen i sin tur. Denna period tar cirka 40 minuter.
3. När det är under 50, stäng av underhållspumpen igen.
Tel: +86-13486478562
FAX: +86-574-62496601
E -post: 
Address: Nr 79 West Jinniu Road, Yuyao, Ningbo City, Zhejiang Provice, China