Vad är en magnetron sputtering vakuumbeläggningsmaskin och hur fungerar den?
Magnetron sputtering vakuumbeläggningsmaskin är en modern teknik som används för tunnfilmavlagring på ett brett spektrum av underlag. Men vad är det exakt och hur fungerar det?
I sin kärna, Magnetron Sputtering Vacuum Coating Machine är en högvakuumkammare som innehåller ett målmaterial, vanligtvis en metall eller en legering, och ett underlag som ska beläggas. Processen involverar bombardemanget av målmaterialet med högenergiska joner, som lossnar atomer från ytan och deponerar dem på underlaget och bildar en tunn film.
En av de viktigaste komponenterna i Magnetron-sputteringsvakuumbeläggningsmaskinen är magnetronen, som är en typ av plasmakälla som genererar en mycket joniserad plasma i kammaren. Magnetronen består av en katod (målmaterialet), en anod och ett magnetfält. Magnetfältet tjänar till att begränsa plasma och förbättra joniseringen av gasmolekylerna i kammaren, till effektivare sputtering.
Processen börjar med att pumpa ner kammaren till ett högt vakuum, vanligtvis cirka 10^-6 torr. Målmaterialet bombarderas sedan av joner, som slår av atomer och skapar ett flöde av partiklar som avsätts på underlaget. Avsättningshastigheten och filmegenskaperna kan styras genom att justera jonflödet, målspänningen och trycket i kammaren.
En av fördelarna med Magnetron sputting vakuumbeläggningsmaskin är dess mångsidighet. Det kan användas för att avsätta ett brett utbud av material, inklusive metaller, legeringar, keramik och halvledare. Det kan också användas för att skapa flerskiktsbeläggningar, som kan ha unika egenskaper som förbättrad hårdhet, slitmotstånd eller optiska egenskaper.
En annan fördel med magnetron sputtering vakuumbeläggningsmaskin är dess höga nivå av enhetlighet. Magnetfältet i kammaren tjänar till att fördela jonflödet jämnt över målets yta, till en mer enhetlig avsättningshastighet och tjockleken på filmen.
Sammanfattningsvis är Magnetron Sputtering Vacuum Coating Machine en mycket sofistikerad teknik som används allmänt inom branscher som flyg-, elektronik och optik. Dess förmåga att sätta in ett brett utbud av material, skapa flerskiktsbeläggningar och producera mycket enhetliga filmer gör det till ett oundgängligt verktyg för forskning och utveckling samt storskalig produktion.
Multi-Arc Ion & Sputtering-beläggningar kan deponeras i ett brett spektrum av färger. Rang of Colors kan förbättras ytterligare genom att införa reaktiva gaser i kammaren under deponeringsprocessen. De allmänt använda reaktiva gaserna för dekorativa beläggningar är kväve, syre, argon eller acetylen. De dekorativa beläggningarna produceras i ett visst färgområde, beroende på metall-till-gas-förhållandet i beläggningen och beläggningens struktur. Båda dessa faktorer kan ändras genom att ändra deponeringsparametrarna.
Före deponering rengörs delarna så att ytan är fri från damm eller kemiska föroreningar. När beläggningsprocessen har börjat övervakas och styrs alla relevanta processparametrar kontinuerligt av ett automatiskt datorkontrollsystem.