Vad är tunnfilmavlagring genom termisk förångning?

En av de vanliga metoderna för fysisk ångavsättning (PVD) är termisk indunstning. Detta är en form av tunnfilmavlagring, som är en vakuumteknik för att applicera beläggningar Avdunstningsvakuumbeläggningsmaskinleverantörer av rena material till ytan på olika föremål. Beläggningarna, även kallade filmer, är vanligtvis i tjockleksområdet för angström till mikron och kan vara ett enda material, eller kan vara flera material i en skiktad struktur.
Materialet som ska appliceras med termiska förångningstekniker kan vara rena atomelement inklusive både metaller och icke -metaller, eller kan vara molekyler såsom oxider och nitrider. Objektet som ska beläggas benämns underlaget och kan vara någon av en mängd olika saker som: halvledarskivor, solceller, optiska komponenter eller många andra möjligheter.

Termisk indunstning innebär att värma ett fast material i en högvakuumkammare och tar den till en temperatur som ger lite ångtryck. Inuti vakuumet är till och med ett relativt lågt ångtryck tillräckligt för att höja ett ångmoln inuti kammaren. Detta indunstade material utgör nu en ångström, som korsar kammaren och träffar underlaget och håller sig vid det som en beläggning eller film.
Eftersom materialet i fall av termiska indunstningsprocesser upphettas till dess smältpunkt och är flytande, är det vanligtvis beläget i botten av kammaren, ofta i någon form av upprätt klädsel. Ångan stiger sedan över denna bottenkälla, och underlagen hålls inverterade i lämpliga fixturer på toppen av kammaren. De ytor som är avsedda att beläggas står således mot det uppvärmda källmaterialet för att få sin beläggning.
Steg