DK -sputtrande beläggning

Magnetron sputtrande beläggning

En annan form av PVD -beläggningsteknik.

Plasmabeläggning

Magnetron -sputtering är en plasmabeläggningsprocess där sputteringsmaterial matas ut på grund av bombardemang av joner till målytan. Vakuumkammaren för PVD -beläggningsmaskinen är fylld med en inert gas, såsom argon. Genom att applicera en högspänning skapas en glödutsläpp, vilket resulterar i acceleration av joner på målytan och en plasmaskoling. Argon-jonerna kommer att mata ut sputterande material från målytan (sputtering), vilket resulterar i ett sputterat beläggningsskikt på produkterna framför målet.

Reaktivt sputtering

Ofta används en ytterligare gas såsom kväve eller acetylen, som kommer att reagera med det utkastade materialet (reaktiv sputtering). Ett brett utbud av sputterade beläggningar kan uppnås med denna PVD -beläggningsteknik. Magnetron sputteringsteknologi är mycket fördelaktig för dekorativa beläggningar (t.ex. Ti, Cr, ZR och kolnitrider) på grund av dess släta natur. Samma fördel gör att magnetron sputtering som används allmänt för tribologisk beläggning på bilmarknader (t.ex. CRN, CR2N och olika kombinationer med DLC -beläggning - diamant som kolbeläggning).

Magnetfält

Magnetron sputtering skiljer sig något från allmän sputteringsteknik. Skillnaden är att magnetron sputteringsteknik använder magnetfält för att hålla plasma framför målet, vilket intensifierar bombardemanget av joner. En mycket tät plasma är resultatet av denna PVD -beläggningsteknik.

Karaktären av magnetron sputteringsteknik:

• Ett vattenkylt mål, så lite strålningsvärme genereras
• Nästan alla metalliska målmaterial kan sputtas utan nedbrytning
• Icke-ledande material kan sputtas genom att använda radiofrekvens (RF)

eller medelfrekvens (MF) kraft

• Oxidbeläggningar kan sputtas (reaktiv sputtering)
• Utmärkt lager enhetlighet
• Mycket släta sputterade beläggningar (inga droppar)
• Katoder (upp till 2 meter långa) kan placeras i vilken position som helst, därför hög flexibilitet i utflyktutrustningens design

Nackdelen med magnetron sputteringsteknologi.